本报告导读：

    　　公司营收规模持续扩大，盈利能力稳中向好，在手订单饱满，存货及合同负债高位增长，真空设备需求旺盛，有望开启第二成长曲线。

    　　投资要点：

    　　给予“增持” 评级。考虑到全球半导体设备需求旺盛，公司作为配套设备领军企业有望深度受益于国内晶圆厂扩产及国产替代深化。我们预计公司26-28 年EPS 为1.50/2.31/3.51 元，基于可比公司PE 均值，给予公司26 年75 倍PE，公司目标价为112.5 元，维持“增持”评级。

    　　营收规模持续扩大，盈利能力稳中向好。26 年前三季度营收14.90 亿元，同比+35%；归母净利润1.45 亿元，同比+13%。Q3 营收5.49 亿元，同比增长49%；归母净利润0.53 亿元，同比增长38%。从盈利能力看，26Q3 毛利率32.63%，同比持平，环比+6pct；净利率9.69%，同比-0.76pct，环比+1pct。我们认为，受益于半导体设备需求旺盛，公司收入快速增长。虽然存储厂商大规模扩产亦将导致公司普通产品价格存在下行压力，且安徽基地转固折旧逐步显现。但公司产品结构升级将对利润形成正向贡献，长期看稳中向好。

    　　公司订单饱满，存货及合同负债高位维持增长。26Q3 合同负债16.49亿元，同比+73%，印证公司订单充足，下游客户需求旺盛。公司存货29.51 亿元，同比增长26%，大量设备正处于验证交付中，为后续业绩增长带来确定性。我们认为，随着本轮扩产潮及国产化进程的推进，公司将维持高速增长态势。

    　　真空设备需求旺盛，有望开启第二成长曲线。根据Atlas Copco 2026年Q3 披露，真空板块需求强劲，订单同比增长87%，其中半导体相关订单创历史新高。我们认为，目前国产半导体真空泵市占率较低，部分境内公司有一定小批量出货，随着海外结构性供给缺口，国产替代的局面逐渐打开。公司部分型号真空泵产品已经送往国内集成电路制造产线进行验证。

    　　产品覆盖国内主流先进制程，多年积累优质下游客户。逻辑芯片领域，公司温控设备已适用于90nm-14nm 制程，工艺废气处理设备、晶圆传片设备已适用于90nm-28nm 制程；存储领域，公司温控及废气设备已应用于192 层3D NAND。公司已成功进入长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、长鑫科技等行业知名半导体制造企业，与客户建立了良好的合作关系。

    　　风险提示：下游扩产不及预期，地缘政治扰动风险，设备验证不及预期，下游竞争加剧风险，税收优惠政策变化风险等。