本报告导读：

    　　微导纳米以ALD 技术为核心向CVD 等薄膜沉积设备延伸，加快覆盖逻辑、存储及先进封装客户，半导体业务正由产品验证期迈向批量交付和平台化扩张阶段。

    　　投资要点：

    　　投资建议：维持“增持”评级。我们预计公司 26-28 年 EPS 为0.84/1.15/1.58 元。根据可比公司2026 年平均185.8xPE，给予公司2026 年185.8xPE。对应目标价155.76 元。

    　　公司业务结构正由“光伏设备主导”转向“半导体设备驱动”。公司以原子层沉积（ALD）为核心，并向CVD 等薄膜沉积技术延伸；2025年半导体设备收入达到8.81 亿元，同比增长169.12%，收入占比由12.14%提升至33.50%，部分抵消了光伏设备收入下降30.52%的影响。随着国内晶圆厂扩产、先进制程材料层数增加及设备国产化推进，半导体业务有望成为公司中长期增长中枢。

    　　公司已完成ALD 设备的产业化验证，并逐步从单一设备向多工艺、多产品平台升级。公司多款ALD、CVD 设备已获得重点客户验证并实现量产导入，High-k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备量产规模持续扩大；公司已取得逻辑、存储及先进封装领域客户的商业订单，部分ALD、CVD 产品获得批量或重复订单。若新产品能够持续通过验证并形成批量采购，公司有望复制国内刻蚀、薄膜沉积设备厂商由单品突破到平台化扩张的成长路径。

    　　收入和订单仍处于高增长通道。2025 年公司营收26.33 亿元、归母净利润2.19 亿元，分别同比下降2.47%和3.23%；半导体设备处于放量初期，毛利率仅18.53%，同比下降9.15 个百分点，但经营现金流已由负转正至3.91 亿元。2026 年一季度归母净利润同比下降75.01%，研发投入增长72.88%，公司仍处于高投入、扩产能和导入新品阶段；未来盈利弹性主要取决于半导体收入规模扩大、产品成熟度提升及毛利率修复。

    　　风险提示：下游客户推进不及预期，下游扩产不及预期。