2026 年股权激励首批授予555 万股，覆盖1200 名激励对象，设置2026—2029年营收及扣非归母净利润考核目标。PECVD、ALD 持续获得批量订单，三维集成设备逐步产业化，本次激励有望增强核心团队稳定性，支持新产品研发及产业化。维持“强烈推荐”投资评级。

    　　2026 年股权激励首批授予完成，覆盖核心技术人员。公司于2026 年10 月9日以390 元/股向1,200 人授予555 万股第二类限制性股票，占激励计划公告时总股本的1.90%。其中11 名董事、高级管理人员及核心技术人员获授97.50万股，其余1,189 人获授457.50 万股。首次授予部分分四期归属，每期25%。

    　　营收及利润双指标考核，未来四年业绩目标明确。以2025 年为基期，按照公司披露的业绩考核增长率目标测算，2026—2029 年营业收入考核目标分别约84.75、103.65、123.86、146.68 亿元，对应同比增长30.0%、22.3%、19.5%、18.4%；扣非净利润考核目标分别约9.79、12.51、13.78、15.19 亿元，对应同比增长35.4%、27.8%、10.2%、10.2%。

    　　股份支付费用分期摊销，2027 年费用规模最高。公司测算本次首次授予预计产生股份支付费用合计16.32 亿元， 2026—2030 年分别摊销约1.85/7.29/4.07/2.23/0.88 亿元，其中2027 年费用摊销最高。费用计入经常性损益，净利润考核口径按规定剔除相关股权激励费用。本次激励有望增强核心团队稳定性，支持新产品研发及产业化。

    　　投资建议。国内晶圆厂扩产带动设备需求增长，公司PECVD、ALD 持续获得批量订单，三维集成设备逐步产业化，拟收购无锡尚积有望补充PVD 产品线。本次股权激励有望增强核心团队稳定性，支持新产品研发及产业化，但股份支付费用将对阶段性报表利润产生影响。我们预计26-28 年营业收入分别为88.77/127.01/176.78 亿元，归母净利润分别为20.76/29.36/38.72 亿元，对应PE 分别为91.6/64.8/49.1 倍，维持“强烈推荐”投资评级。

    　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期风险、新产品验证及市场拓展不及预期风险、收购交易进展不及预期风险、股权激励业绩考核不及预期风险、股份支付费用对公司利润的影响超预期风险。