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中微公司(688012)机构评级研报股票分析报告

 
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中微公司(688012):研发进展顺利 新品逐步起量

http://www.gubit.cn  机构:平安证券股份有限公司  2026-08-24  查股网机构评级研报

  事项:

      公司公布2026 年半年报, 2026 年上半年公司实现营收66.91 亿元(34.89%YoY),归属上市公司股东净利润28.25亿元(300.22%YoY)。

      平安观点:

      业绩高增,新品逐步起量:2026年上半年公司实现营收66.91亿元(34.89%YoY),归属上市公司股东净利润28.25亿元(300.22%YoY,公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2026年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约10.29亿元,较2025年上半年的1.68 亿元增加约8.61 亿元) , 扣非后归母净利11.23 亿元(108.36%YoY)。2026年上半年公司毛利率和扣非后净利率分别是39.74%(2025H1为39.86%)和16.78%(2025H1为10.86%)。公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀应用。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户,从65纳米到3纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用,并已实现CMP湿法设备多种应用研发和客户验证。公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备, 如MOCVD ,LPCVD,ALD,PVD,PECVD和EPl设备,并取得了可喜的进步。公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产,并在全球氮化镓基LEDMOCVD设备市场占据领先地位。此外,公司已全面布局光学和电子束量检测设备,并开发多种泛半导体微观加工设备,包括大平板显示设备等。

      研发进展顺利,半导体新产品客户端验证情况良好:公司继续保持较高的研发投入,与国内外一流客户保持紧密合作,相关设备产品研发进展顺利、客户端验证情况良好,在部分关键客户市场占有率稳步提升。

      2026年上半年公司研发投入约20.41亿元,同比增加约5.50亿元,2026年上半年研发投入占公司营业收入比例约为30.51%。公司目前在研项目涵盖六大类设备,包含多个关键制程工艺的核心设备开发。1)CCP刻蚀  设备:公司针对超高深宽比刻蚀工艺,开发了全新的PrimoXD-RIE。该设备采用全新腔体结构设计,适用于高腐蚀性气体和超低温刻蚀工艺,刻蚀工艺显著减少碳氟气体使用,刻蚀效率较上一代产品提升明显。目前,PrimoXD-RIE的Alpha机已完成实验室马拉松测试,Beta机在客户端验证顺利。2)ICP刻蚀设备:公司低温高深宽比ICP刻蚀设备PrimoNanovaLUXCryo在客户的下一代产品的产线上稳定量产。与此同时,为应对先进节点高深宽比挑战,公司研发的下一代高精度ICP刻蚀设备的PrimoAngnova在实验室开展多个客户的工艺验证,全面满足客户的刻蚀需求,Beta机器在客户端认证顺利,并取得多个重复订单。3)薄膜沉积设备:公司开发的多款薄膜沉积产品已推向市场。中微公司钨系列薄膜沉积产品:CVD(化学气相沉积)钨设备,HAR(高深宽比)钨设备和ALD(原子层沉积)钨设备,可覆盖存储器件所有钨应用;该系列设备均已通过关键存储客户端现场验证,满足先进存储应用中所有金属互连应用(包含高深宽比金属互连应用)及三维存储器件字线应用各项性能指标,并获得客户重复量产订单。4)先进封装相关设备:公司用于2.5D、SoICWoW及高深宽比深槽电容刻蚀的PrimoTSV300E产品持续服务客户,并获得重复订单。公司用于先进封装等离子体切割的PrimoMatrix即将发往国内头部客户产线验证。同时,先进封装所用的第三代TSV刻蚀机研发顺利,获得优良的工艺结果,并且已得到多家客户订单,即将发往客户端验证。

      投资建议:结合公司最新财报(公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2026年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约10.29亿元,较2025年上半年的1.68亿元增加约8.61亿元)。另外,AI驱动下半导体投资增加,根据SEMI数据显示,晶圆厂设备领域(包括晶圆加工、晶圆厂设施和掩膜/光罩设备)预计2026年将增长23.1%至1439亿美元。这较SEMI2025年末预测大幅上调,先进存储和前沿逻辑应用投资增强。预计2027年再增长21.8%。基于此我们调整公司盈利预测,预计2026-2028年公司归母净利润为40.71亿元/50.23亿元/71.53亿元(原值为30.90亿元/41.72亿元/55.20亿元),对应的市盈率分别为85倍、69倍、49倍。公司继续保持较高的研发投入,与国内外一流客户保持紧密合作,相关设备产品研发进展顺利、客户端验证情况良好,维持公司“推荐”评级。

      风险提示:1)下游客户扩产投资不及预期的风险。若下游晶圆厂和LED芯片制造商的后续投资不及预期,对相关设备的采购需求减弱,这将影响公司的订单量,进而对公司的业绩产生不利影响。2)新产品研发不及预期风险。若公司新产品研发不及预期,将影响公司长远发展。3)核心技术人员流失风险。半导体设备行业属于人才密集型行业,如果核心技术人员流失会对公司新产品开发产生一定影响。

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