来源 :上证e互动2026-07-15
华特气体(688268)请问公司的6N级氦气是否通过了ASML、Gigaphoton的官方认证？是否是国内唯一获得该双认证的氦气量产企业？ 尊敬的投资者，您好！公司自主研发多款稀混光刻气（Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等），是国内唯一一家多款稀混光刻气（其中2款含有微量氟）同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业，并非单纯“氦气”，感谢您的关注。