来源 :上证e互动2026-07-16
拓荆科技(688072)公司作为ALD设备领军企业，想请问臭氧源比水蒸气源，在原子层沉积ALD设备上有何优势？
感谢您对公司的关注。原子层沉积技术主要根据工艺的应用场景和整合需求选择特定的反应源，不同ALD工艺所采用的反应源不同，谢谢！