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至纯科技(603690)内幕信息消息披露
 
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至纯科技:大宗气站业务服务12英寸28纳米及以下产线,供应高纯氩气、氦气等

http://www.gubit.cn  2026-10-13  至纯科技内幕信息

来源 :上证e互动2026-10-13

  至纯科技(603690)你好,目前能在12英寸先进存储产线上提供现场制气服务的国内企业仍然很少,这个领域的国产化率在所有材料品类中是比较低的,请问贵司两座气站是给12英寸晶圆提供氩气氦气等?

  您好,公司大宗气站业务服务于国内集成电路头部客户12英寸28纳米及以下产线,是紧邻客户晶圆厂设计建设,为用户提供一对一的至少15年的高纯大宗气体供应,主要包括高纯氧气、高纯二氧化碳、高纯氢气、高纯氩气、高纯氦气、高纯氮气及其他气体产品。

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