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至纯科技:湿法设备覆盖逻辑与存储等多领域,28纳米全工艺机台均有订单

http://www.gubit.cn  2026-10-13  至纯科技内幕信息

来源 :上证e互动2026-10-13

  至纯科技(603690)你好,今年存储芯片企业大盈利,国内存储大厂扩产步伐加快,贵司在今年上半年新增订单29亿,创历史同期新增订单新高,湿法清洗设备贵司目前在逻辑芯片存储芯片客户今年上半年拿到多少订单,距离贵司8-12亿湿法清洗设备订单目标,截止上半年完成多少?

  您好,公司湿法设备覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求,在28纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。公司半导体湿法设备订单90%以上来源于逻辑客户。公司将继续聚焦湿法清洗设备核心主业,推动高阶清洗设备的批量放量,为实现全年经营目标而努力。

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