来源 :深交所互动易2026-07-08
irm2289238问珂玛科技(301611)董秘您好：据了解MLCC缺货潮扩散，谋划扩产的供应商却被设备“卡住了脖子”，急需订购叠层/烧结/检测等设备，请问珂玛科技目前可以为MLCC领域提供关键陶瓷耐温耐磨零部件、MLCC产线所用薄膜沉积、热处理类设备中的腔体内衬、导向环、承烧板/垫烧板、传输手爪等高温/耐腐蚀陶瓷件，（氧化铝、碳化硅材质）等产品吗？？请相关介绍一下。谢谢
2026-06-15 22:18:44
珂玛科技答irm2289238
尊敬的投资者您好！公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备，目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备，先进陶瓷材料零部件产品主要应用于腔室内，其中部分零部件直接与晶圆接触，是集成电路制造中关键的精密零部件。产品包括圆环圆筒、气流导向、承重固定和手爪垫片等结构件产品，以及陶瓷加热器、静电卡盘以及超高纯碳化硅套件等高难度“功能-结构”一体模块化产品。感谢您的关注！
2026-07-08 18:03:33