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(深互动)国林科技:臭氧设备应用于半导体薄膜沉积、清洗等工艺

http://www.gubit.cn  2026-07-14  国林科技内幕信息

来源 :深交所互动易2026-07-14

  irm1347477问国林科技(300786)目前DRAM存储里的铟镓锌氧化物(IGZO)晶体管制造是否依赖于公司半导体臭氧设备? 2026-07-10 07:31:59 国林科技答irm1347477 尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。详细产品技术信息请查阅子公司国林半导体官方网站(https://www.guolinsemi.com/)或定期报告进行了解。感谢您对的关注。 2026-07-14 16:59:03

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