来源 :深交所互动易2026-07-13
irm1347477问国林科技(300786)天津奥尔斯曼都有生产用于玻璃基板表面清洗以及TGV孔洞清洗的专用臭氧设备，请问公司有同类型产品吗？是否已经投入到了玻璃基板产线中？
2026-07-08 20:09:05
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程，子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。子公司国林半导体现有产品包括：半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、二氧化碳水发生器、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品；详细产品技术信息请查阅子公司国林半导体官方网站（https://www.guolinsemi.com/）进行了解，具体业务情况请关注公司定期报告。感谢您的关注。
2026-07-13 09:14:33