来源 :深交所互动易2026-10-19
irm2389078问锐科激光(300747)您好，董秘，贵公司在光刻机领域方面有研究吗？
2026-09-30 19:43:52
锐科激光答irm2389078
尊敬的投资者，您好！锐科激光“全波段系列产品”围绕激光领域“全波长、全功率、全脉宽、全应用”目标，实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中，波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW，单脉冲能量超过0.6μJ，在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求，积极布局光刻配套光源相关技术储备，公司研发技术情况请以定期报告披露的情况为准。谢谢！
2026-10-19 20:45:04