来源 :深交所互动易2026-07-15
irm1742975问理工光科(300557)公司高精度光纤光栅专利可实现微米级监测，此前中标核聚变HL3项目，相关传感技术是否可延伸至半导体EUV光刻设备的温度、应力在线监测？目前有无和晶圆厂送样合作？ 2026-06-04 20:26:12 理工光科答irm1742975 您好，光纤光栅位“微米级位移监测”与EUV光刻设备核心部件的测量要求并非同一技术指标，公司未与晶圆厂开展送样合作。感谢您的关注！ 2026-07-15 15:45:03