来源 :深交所互动易2026-07-13
irm1535156问中瓷电子(003031)董秘你好，请问公司在半导体零部件领域目前有哪些布局？珂玛科技的半导体陶瓷卡盘都已经开始有订单了，公司市场拓展的现在什么情况了？
2026-07-01 09:39:31
中瓷电子答irm1535156
您好，公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于半导体关键设备中。公司持续加大精密陶瓷零部件领域的研发和投入力度，已开发了氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件产品，建立了精密陶瓷零部件制造工艺平台。开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，已批量应用于国产半导体设备中，静电卡盘产品已经通过国内头部半导体设备公司上机验证。谢谢您的关心。
2026-07-13 17:25:33